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SENS4真空变送器VCM-1
VVCM-1 真空变送器专为各种工业应用中的测量而设计。其模块化紧凑型设计将高测量性能、灵活配置和坚固的不锈钢设计独特地结合在一起。其应用包括前线真空监控、冷冻干燥和热处理炉。
VCM-1 可通过新颖的 S4-Connect 接口在电脑上进行编程和配置。
VCM-1 传感器采用陶瓷氧化铝传感器膜片,可将施加的压力转换为电信号。传感器元件采用干电池隔膜设计,不含油。陶瓷传感器表面与 316 不锈钢法兰和内部 Viton 密封件相结合,具有良好的耐化学腐蚀性,可与各种腐蚀性气体、溶剂和酸兼容。
VCM-1 传感器经久耐用,可承受持续振动和从真空到大气的瞬间压力变化。
性能特点:
耐化学腐蚀陶瓷隔膜
0.75% 读数的高精度
4-20 mA 可编程电流输出
0-10 VDC 可编程电压输出
温度漂移补偿
紧凑、坚固的 316 不锈钢设计
IP67 防护等级,适用于恶劣环境
替代传统电容式压力计,性价比高 |
SENS4隔膜真空计VDM-2
VDM-2 陶瓷膜片真空传感器采用耐腐蚀的氧化铝膜片,膜片可随施加的压力而弯曲。核心压力传感器元件采用压电电阻测量法。膜片传感器测量的真空气体压力不受气体类型或成分的影响。与通常使用充油传感器元件的不锈钢压电真空传感器相比,陶瓷压电传感器元件清洁干燥,减免了污染真空系统的风险。电容式隔膜真空计在许多真空应用中用于测量和控制的过程。
VDM-2 传感器是传统 1000 托/mbar 全量程电容式隔膜真空计 (CDG) 的替代产品,性价比高且结构凑。
VDM-2 可用于可能存在腐蚀性气体和化学物质的苛刻真空应用中。陶瓷氧化铝膜片具有良好的耐腐蚀性,可抵御多种溶剂和酸性物质。
VDM-2 传感器还可选配 Parylene 保护层,以防止传感器材料受到腐蚀或氧化。Parylene 是一种独特的聚合物,具有很强的耐腐蚀性和疏水性,专门设计用于冻干和过氧化氢等离子灭菌等应用。
性能特点:
测量范围从 1.0E-1 到 1333 mbar,共 4 个量程
经济实惠,可替代传统的 1000 托全量程 CDG
整个压力范围内的测量与气体无关
耐腐蚀陶瓷或聚对二甲苯膜片
0-10 VDC 可编程电压输出
数字 RS-232 或 RS-485 接口
用于外部控制的可选固态设定点继电器
可直接替换其他供应商的真空计 |
SENS4隔膜真空计VDM-3
VDM-3 陶瓷膜片式大气压真空传感器,配备耐腐蚀氧化铝膜片,膜片会随施加压力发生形变。核心压力传感元件采用压阻式测量技术。该膜片传感器可测量真空气体压力,测量结果不受气体种类与组分影响。
除绝压传感器外,设备内置气压传感器,用于采集环境压力,并输出相对于环境压力的真空测量信号。这种相对于大气压的测量方式,能够在真空系统向大气泄压过程中实现压力的精准控制。
传统不锈钢压阻真空传感器通常采用充油传感元件,与之相比,VDM‑3 陶瓷压阻传感元件洁净无油,可避免对真空系统造成污染。
性能特点:
测量范围:0.1-1333 mbar
耐腐蚀陶瓷膜片
大气压切换功能
3 路用于过程控制的设定点继电器
0-10 VDC 可编程电压输出
数字 RS-232 或 RS-485 接口
采用陶瓷隔膜传感器,实现与气体种类无关的测量
耐腐蚀性,可兼容多种酸类与溶剂
双传感器组合,集成真空测量与相对大气压测量功能
控制真空系统通气,支持表压测量与大气压切换功能 |
Sens4膜片式真空变送器VDM-5
VDM-5 传感器为各种真空应用提供了一体化测量解决方案,确立了新的标准。与其他真空计不同的是,VDM-5 可在 5.0E-3 至 1333 mbar范围内进行不依赖于气体的整体测量,具有很高的性价比。在气体成分或类型可能发生变化的真空应用中,传统的气体依赖型皮拉尼真空计会导致测量结果与实际压力存在偏差。
VDM-5 传感器采用电容式膜片真空计 (CDG) 传感器,减免了对气体的依赖性,在气体性质发生变化时也能提供准确的测量。集成的热损耗 MEMS 皮拉尼传感器将测量范围扩展至 1E-6 mbar,并提供了一种新颖的电容式压力计自动零点调整功能,从而减免了传统电容式膜片压力计手动零点调整的常见需求。用户可对传感器设置和参数进行编程,以控制真空系统和应用过程参数。数字 RS-232 或 RS-485 串行接口可用于诊断、预测性维护、服务、校准、设定点配置、模拟输出缩放,以及获取实时真空压力测量值,以便在屏幕上进行可视化。
性能特点:
测量范围为 5×10-3 至 1333 mbar(3.75×10-3 至 1000 托)
与气体无关的隔膜传感器
陶瓷电容隔膜真空计和压电隔膜
可安装在任何方向而不影响性能。
搭载数字接口、模拟输出与设定点继电器,支持灵活的系统集成
数字 RS-232 或 RS-485 接口
用于真空过程控制的三个固态设定点
耐腐蚀性,可选陶瓷或派瑞林传感器防护层 |
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VDM-7 DiCAP ATM
VDM-7 DiCAP ATM 真空变送器采用双传感器设计,树立了全新行业标准。相较于其他真空计,该产品具备突出优势:可实现不受气体种类影响**的压力测量,测量范围 5.0E-3 ~ 1333 mbar,且性价比优异。此外,它支持相对于环境大气压的测量,能够对真空系统破真空过程实现精准控制。在气体组分或气体种类会发生变化的真空工况中,传统受气体属性影响的皮拉尼真空计,测量结果往往与真实压力存在较大偏差。VDM-7 变送器搭载高精度电容薄膜规(CDG)传感器,消除了气体依赖性;即便气体介质特性发生改变,依旧可以输出准确测量数值。
性能特点:
测量范围:5E-3 ~ 1333 mbar,测量结果不受气体种类影响
大气压开关功能
数字接口:RS-232 或 RS‑485
3 路设定点继电器,用于工艺控制
双膜片传感器
,抗腐蚀性能
可选陶瓷或派瑞林(Parylene)传感器防护涂层
同时具备数字、模拟接口
系统集成灵活:支持数字接口、模拟输出、设定点继电器
大气压切换功能:可基于大气压做相对测量,精准控制破真空循环 |
VPM-4 SmartPirani lite 真空传感器
VPM-4 SmartPirani Lite 真空变送器采用前沿技术,具备业界顶尖性能,将热传导真空计的有效真空测量量程拓展了1~3个数量级,树立了全新的行业性能标杆。
SmartPirani 依托先进的MEMS(微机电系统)传感器技术,搭配顶尖的数字信号处理架构与创新测量算法,再配合精密的自动化生产与校准工艺,打造出这款性能表现无可匹敌的独特产品。SmartPirani Lite 专为真空开关功能设计,测量上限为10 mbar;若需要覆盖至大气压及以上的全量程测量,可选择VPM-5 SmartPirani 变送器。
测量量程:1.0E-6 to 10 mbar
可选耐腐蚀传感器
数字接口:RS-232 或 RS-485 数字接口
3路设定点继电器,用于过程控制
MEMS皮拉尼传感器
宽量程MEMS皮拉尼传感器,测量范围覆盖1.0×10-6 ~ 10 mbar
耐腐蚀性
可选陶瓷或派瑞林传感器防护层
数字接口:搭载RS-232和RS-485数字接口,便于系统集成
过程控制:可编程设定点继电器,实现真空开关功能 |
VPM-5 SmartPirani
VPM-5 SmartPirani 真空变送器采用前沿技术,具备行业顶尖性能;将热传导真空计的有效真空测量范围拓展了 1‑3 个数量级,树立了全新的性能标杆。
SmartPirani 依托先进 MEMS(微机电系统)传感器技术,搭配全新高精度数字信号处理架构以及创新高级测量算法。再结合精密自动化生产与校准工艺,多重技术融合造就这款产品,实现无妥协的测量性能。
性能特点:
超宽测量量程:9 个数量级,1.0E-6 ~ 1333 mbar 区间不受气体种类影响
可选抗腐蚀传感器,抗腐蚀能力:可选陶瓷或派瑞林 (Parylene) 传感器防护涂层
具备数字、模拟及设定点控制功能
非气体依赖性测量,采用高精度膜片传感器
优异的性价比
面向各类真空应用,提供一流性能 |
VPM-7 SmartPirani ATM
VPM-7 SmartPirani ATM 传感器专为半导体负载锁定压力控制和其他需要准确测量相对于大气环境压力的真空应用而设计。与传统的负载锁定传感器和其他负载锁定传感器解决方案相比,它具有同类更高的性能,测量范围更广、精度更高、测量周期更快。SmartPirani ATM 基于一项正在申请许可的技术,该技术将导热性皮拉尼热损失真空计的可用测量范围扩大了 1-3 倍,从而确立了新的标准。 一体化多传感器传感器解决方案,VPM-7 是一款多传感器传感器,具有四个压力输出,结合了气压环境传感器、宽量程热损耗皮拉尼真空计、膜片传感器和相对于大气压力的信号,可优化现代负载锁定真空室的压力控制。隔膜传感器的读数不受气体影响,Abs压力范围为 2 至 1333 mbar。
超宽测量范围达 9 个量程
性能特点:
准确的大气开关功能
可靠的固态继电器控制
气压环境压力测量
0-10 VDC 可编程电压输出,可与其他供应商仿真
数字 RS-232 或 RS-485 接口
StableZero 漂移补偿
可直接替换 MKS 901P
用于诊断的真空温度传感器
RGB LED 彩色压力指示灯
可选耐腐蚀版本 |
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SENS4真空计VPM-15 TriCAP
VPM-15 TriCAP 传感器为各种真空应用提供了一体化宽量程测量解决方案,从而确立了新的标准。与其他真空计不同的是,它具有成本效益,测量范围从 5.0E-3 到 1333 毫巴,不依赖于气体,同时还能利用热损失原理测量低至 1E-6 毫巴的真空。在气体成分或类型可能发生变化的真空应用中,传统的气体依赖型皮拉尼真空计会导致测量结果与实际压力存在偏差。TriCAP 传感器采用电容式膜片真空计 (CDG) 传感器,减免了对气体的依赖性,在气体性质发生变化时也能提供准确的测量。集成的热损耗 MEMS Pirani 传感器将测量范围扩展至 1E-6 mbar,并提供新颖的电容式压力计自动调零功能,从而消除了传统电容式膜片真空计手动调零的常见需求。VPM-15 TriCAP 是一款新型多传感器真空计,是传统皮拉尼真空计应用的性能升级之选,也是使用单独电容式压力计和皮拉尼真空计的应用的成本优化型一体化解决方案。
性能特点:
测量范围从 1×10-6 到 1333 毫巴(7.5×10-7 到 1000 托)
与气体无关的传感器,测量范围从 5×10-3 到 1333 毫巴
超宽量程高性能 MEMS 皮拉尼传感器
坚固耐用的陶瓷电容隔膜真空计
可安装在任何方向而不影响性能
可编程电压输出信号,可与其他供应商仿真
数字 RS-232 或 RS-485 接口
用于真空过程控制的三个固态设定点
可直接替换 MKS 925 MicroPirani 和 910
紧凑型多传感器解决方案
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SENS4真空计VPM-17 TriCAP
VPM-17 TriCAP ATM 传感器为广泛的真空应用建立了一体化测量解决方案的新标准。与其他真空计不同的是,它结合皮拉尼热损耗测量(低至 1E-6 mbar),提供从 5.0E-3 到 1333 mbar 的高性价比气体独立测量。在气体成分或类型可能发生变化的真空应用中,传统的依赖气体的皮拉尼真空计会导致测量结果与实际压力产生偏差。然而,TriCAP ATM 传感器采用了电容式膜片真空计 (CDG) 传感器,由于不依赖于气体成分,因此即使气体性质发生变化,也能确保测量精度。集成的热损耗 MEMS Pirani 传感器将测量范围扩展至 1E-6 mbar,并提供新颖的电容式压力计自动调零功能,从而减免了传统电容式膜片真空计手动调零的常见需求。TriCAP ATM 是一款新型多传感器真空计,是传统皮拉尼真空计应用的性能升级之选,也是在单独使用电容式压力计和皮拉尼真空计的应用中成本优化的一体化解决方案。
性能特点:
测量范围为 1×10-6 至 1333 mbar(7.5×10-7 至 1000 托)
与气体无关的传感器,测量范围从 5×10-3 到 1333 mbar
超宽量程高性能 MEMS 皮拉尼传感器
坚固耐用的陶瓷电容隔膜真空计
环境压力参考输出信号
大气开关功能
可安装在任何方向而不影响性能
可编程电压输出信号,可与其他供应商仿真
数字 RS-232 或 RS-485 接口
用于真空过程控制的三个固态设定点
可直接替换 MKS 901P Loadlock 传感器
紧凑型多传感器解决方案
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SENS4真空压力显示表TVC-1 TrueVac
TVC‑1 TrueVac 真空压力显示表是一款通用型便携手持仪表,适用于现场作业、设备检修、维护保养等对使用灵活性要求较高的工况。
该显示表可快速读取并解析多款 Sens4 真空变送器,以及其他厂商模拟变送器输出的测量数据。
整机结构坚固,采用电池供电,非常适合现场真空测量;无论是空调系统检修,还是低温系统绝缘真空检测,均可胜任。灵活便携手持显示终端电池供电兼容 Sens4 及其他厂商真空计,坚固耐用,适用于现场检修作业
性能特点:
便携式坚固结构:专为现场工况设计
适配多种变送器:可兼容多款 Sens4 变送器以及其他品牌真空计
电池供电:采用通用 AA 电池,现场可快速更换
使用方式灵活:可手持使用、台式放置,也可磁吸固定在金属表面
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SENS4真空显示表TVC-3TrueVac
TrueVac 数字控制器可快速读取 Sens4 真空变送器的测量数据,同时兼容市面上多款其他品牌有源真空变送器,便于用户分析测量信息。
4 英寸图形触控屏幕界面布局美观,不仅提升观感,更优化整体操作体验。关键压力测量数据与参数排布清晰规整,用户一眼即可获取信息,基于数据做出可靠判断。TrueVac 采用直观菜单界面,化繁为简,强大功能与易用设计相结合,带来出众的操控体验与便捷操作。该控制器可直接对 Sens4 变送器进行参数修改,包含设定点、校准、压力单位等配置。
4 英寸高分辨率触控显示屏
最多可接入3 台变送器
支持模拟型、数字型变送器
USB 接口,方便连接电脑
4 英寸高分辨率显示屏
测量数据展示界面清晰直观、视觉效果佳
人性化操作界面
易用触控界面,可便捷完成各项参数配置
多功能控制器
兼容 Sens4 变送器以及大量其他品牌变送器
按需配置选型
提供单通道、双通道、三通道版本可供选择 |
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SENS4真空变送器模块VPi-4 iVacSens
iVacSens 系列真空传感器模块是较小的宽量程多功能组合真空计。iVacSens 具有全功能传统真空传感器的功能,校准后即可交付使用。它专为在真空下操作的仪器(如质谱仪和扫描电子显微镜)中的设备集成而设计。iVacSens 基于创纪录的 SmartPirani MEMS 热损耗传感器,与传统的线式 Pirani、对流规和传统 MEMS Pirani 相比,具有同类更好的性能、更宽的测量范围和更高的精度。SmartPirani 传感器技术与隔膜传感器相结合,可在 2 至 1,333 mbar范围内进行不受气体影响的测量。
测量范围宽达 7 个 10
性能特点:
用于过程控制的 3 个数字设定点输出
模拟电压输出
数字 UART 接口
数字 RS-485 接口
远程零点调整
超紧凑设计
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SENS4传感器模块VPi-5 iVacSens
iVacSens 系列真空传感器模块是较小的宽量程多功能组合真空计。iVacSens 具有全功能传统真空传感器的功能,校准后即可交付使用。它专为在真空下操作的仪器(如质谱仪和扫描电子显微镜)中的高等级设备集成而设计。iVacSens 基于创纪录的 SmartPirani MEMS 热损耗传感器,与传统的线式 Pirani、对流规和传统 MEMS Pirani 相比,具有同类更高的性能、更宽的测量范围和更高的精度。SmartPirani 传感器技术与隔膜传感器相结合,可在 2 至 1,333 mbar范围内进行不受气体影响的测量。iVacSens ATM 包含一个热损耗 MEMS Pirani 传感器、一个Abs膜片传感器、一个气压传感器、一个真空温度传感器和一个环境温度传感器。所有传感器测量值均可通过 UART 或 RS-485 数字接口访问。温度参数可用于在设备过热时发出关闭设备的警告或控制信号,或作为计算设备预测性维护的参数。
超宽测量范围达 9 个量程
性能特点:
3个用于过程控制的数字设定值输出
模拟电压输出
数字 UART 接口
数字 RS-485 接口
远程零点调整
用于诊断的真空温度传感器
超紧凑设计
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SENS4传感器模块VPi-7 iVacSens
iVacSens 系列真空传感器模块是很小的宽量程多功能组合真空计。iVacSens 具有全功能传统真空传感器的功能,校准后即可交付使用。它专为在真空下操作的仪器(如质谱仪和扫描电子显微镜)中的高等级设备集成而设计。iVacSens 基于创纪录的 SmartPirani MEMS 热损失传感器,与传统的皮拉尼真空计和对流真空计相比,具有同类更好的性能、更宽的测量范围和更高的精度。SmartPirani 传感器技术与隔膜传感器相结合,可在 2 至 1,333 mbar范围内进行不受气体影响的测量。iVacSens ATM 具有内置大气开关功能,可通过测量相对气压准确控制真空系统排气至大气压。iVacSens ATM 包含一个热损耗 MEMS Pirani 传感器、一个Abs膜片传感器、一个气压传感器、一个真空温度传感器和一个环境温度传感器。所有传感器测量值均可通过 UART 或 RS-485 数字接口访问。温度参数可用于在设备过热时发出关闭设备的警告或控制信号,或作为计算设备预测性维护的参数。
性能特点:
超宽测量范围达 9 个量程
大气开关功能
用于过程控制的 3 个数字设定点输出
气压环境压力测量
模拟电压输出
数字 UART 接口
数字 RS-485 接口
远程零点调整
用于诊断的真空温度传感器
超紧凑设计
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SENS4压力变送器PCM-1
PCM-1 压力变送器专为各种工业应用中的气体、蒸汽和液体测量而设计。 其模块化紧凑设计将高测量性能、灵活配置和坚固耐用的不锈钢设计独特地结合在一起。通过新颖的 S4-Connect 接口,PCM-1 可由用户通过 PC 进行编程和配置。PCM-1 采用陶瓷氧化铝传感器膜片,可将外加压力转换为电信号。传感器元件采用干电池膜片设计,不含油。它既可以作为Abs传感器(相对于集成的密封参考真空进行测量),也可以作为表式传感器(相对于环境压力进行测量)。陶瓷传感器表面与 316 不锈钢法兰相结合,具有良好的耐化学腐蚀性,可与各种腐蚀性气体、溶剂和酸兼容。每个产品都经过单独测试、校准和温度变化漂移补偿。校准数据存储在内部非易失性存储器中。IP67 密封 316 不锈钢外壳集成了疏水膜,专为恶劣环境而设计。创新的防潮屏障可在环境压力、温度和湿度发生变化时防止内部湿气积聚和水凝结。表压传感器测量相对于环境压力的压力,当环境压力发生变化(如天气或海拔变化)时,疏水膜可提供压力均衡。
性能特点:
耐化学和腐蚀的陶瓷隔膜
精度高达量程的 0.1 %(BFSL)
4-20 mA 可编程电流输出
0-10 VDC 可编程电压输出
USB 编程器,便于配置和设置
温度漂移补偿
可通过即插即用 USB 通讯器进行配置
坚固的 316 不锈钢设计
IP67 防护等级,适用于恶劣的工业环境
可选固态设定点继电器,用于过程控制
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VCM-1-10624101
VCM-1-81624101
VCM-1-81621111
VCM-1-80221101
PCM-1-10721101
PCM-1-10214101
PCM-1-10521111
PCM-1-10324101
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VPM-5-10101232
VPM-5-10201132
VPM-5-10101111
VPM-5-10102232
VPM-5-10101211
VPM-5-10201211
VPM-5-10101111
VPM-5-10201111
VPM-5-20101211
VPM-5-20201211
VPM-5-20101232
VPM-5-20101232
VPM-5-13101232
VPM-5-13201232
VPM-5-13101132
VPM-5-13201132
VPM-5-10102132
VPM-5-10202132
VPM-5-10102111
VPM-5-10202111 |
VPM-7-10101232
VPM-7-10201232
VPM-7-10102132
VPM-7-40102132
VPM-7-10101232
VPM-7-10201232
VPM-7-10102132
VPM-7-10202132
VPM-7-40101232
VPM-7-40201232
VPM-7-40102132
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VPM-7-10202132
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PRG-WPRS4-9DS-01
PRG-S4-M12-01
PRG-S4-RJ45-01
PRG-S4-HM-01
TVC-1-01
TVC-3-3102
TVC-3-3103
TVC-3-3104
TVC-3-3105 |